本发明是关于测量精密蜗杆精度参数的方法和 装置,主要技术特点是用两个电感测头和长光栅 测量长度,圆光栅测量角度,长光栅沿被测蜗杆轴线 外延线运动,长光栅和电感测头支承在气体静压导轨 上,被测蜗杆和圆光栅由一个步进电机驱动,电感测 头和长光栅由另...
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